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J-GLOBAL ID：201502210543089227   整理番号：15A0977238

フレキシブルPET基板上での透明導電性Al:ZnO/Au/Al:ZnO多層膜の特性

Properties of transparent and conductive Al:ZnO/Au/Al:ZnO multilayers on flexible PET substrates

著者 (9件)： DIMOPOULOS T. (AIT-Austrian Inst. of Technol., Energy Dep., Photovoltaic Systems, Giefinggasse 2, 1210, Vienna, AUT) ,  BAUCH M. (AIT-Austrian Inst. of Technol., Energy Dep., Photovoltaic Systems, Giefinggasse 2, 1210, Vienna, AUT) ,  WIBOWO R.A. (AIT-Austrian Inst. of Technol., Energy Dep., Photovoltaic Systems, Giefinggasse 2, 1210, Vienna, AUT) ,  BANSAL N. (AIT-Austrian Inst. of Technol., Energy Dep., Photovoltaic Systems, Giefinggasse 2, 1210, Vienna, AUT) ,  HAMID R. (AIT-Austrian Inst. of Technol., Mobility Dep., Electric Drive Technologies, Giefinggasse 2, 1210, Vienna, AUT) ,  AUER M. (NanoTecCenter Weiz Forschungsgesellschaft mbH, Franz-Pichler Strasse 32, A-8160 Weiz, AUT) ,  JAEGER M. (NanoTecCenter Weiz Forschungsgesellschaft mbH, Franz-Pichler Strasse 32, A-8160 Weiz, AUT) ,  LIST-KRATOCHVIL E.J.W. (NanoTecCenter Weiz Forschungsgesellschaft mbH, Franz-Pichler Strasse 32, A-8160 Weiz, AUT) ,  LIST-KRATOCHVIL E.J.W. (Inst. of Solid State Physics, Graz Univ. of Technol., Petersgasse 16, A-8010 Graz, AUT)
資料名： Materials Science & Engineering. B. Advanced Functional Solid-State Materials  (Materials Science & Engineering. B. Advanced Functional Solid-State Materials)
巻： 200  ページ： 84-92  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： T0553A  ISSN： 0921-5107  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは,ポリエチレンテレフタレート(PET)上にスパッタしたAlドープZnO(AZO)と極薄のAu層からなる透明電極の,構造的,電気的および光学的特性を調べる。これらの電極は,光電子デバイスおよび薄膜太陽光発電に関連している。AZO上に堆積したとき,Au膜は3nmの薄さで導電性,蛇行構造を形成するが,均一のAu膜は5nmの厚さから得られた。シート抵抗は金の厚さとともに減少し,11nmの厚さのAuに対して7Ωに達する。AZO/Au/AZOの三層膜は最低の抵抗と最も高い透明性を結合する一方,曲げ疲労に対するそれらの抵抗安定性は,SnをドープしたIn₂O₃ITO)電極よりも優れている。AZO/Au/AZOの性能指数は9nmに等しいかそれより大きいAuの厚さに対しITOより大きい。AZO/Au/AZO透明電極の適用性を実証するために,単純な有機発光ダイオードを作製し,PET/ITO標準基板と比較して試験した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ポリエチレンテレフタレート ,  *フレキシブル基板 ,  *透明導電膜 ,  *酸化亜鉛 ,  *アルミニウム ,  *ドーピング ,  *金 ,  スパッタリング ,  *透明電極 ,  太陽電池 ,  金属薄膜 ,  シート抵抗 ,  *多層膜 ,  疲れ ,  酸化インジウムスズ ,  性能指数 ,  発光ダイオード
準シソーラス用語： AZO ,  ITO ,  PET【重合体】 ,  曲げ疲労 ,  光電子デバイス ,  薄膜太陽電池 ,  有機発光ダイオード

分類 (2件)： その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： PET ,  導電性 ,  Al ,  ZnO ,  Au ,  多層膜