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J-GLOBAL ID：201502210612704982   整理番号：15A1096204

3ビームロイドミラー干渉計による2軸回折格子加工に関する研究

著者 (6件)： 相原涼 (東北大 大学院工学研究科) ,  LI Xinghui (東北大 大学院工学研究科) ,  CAI Yindi (東北大 大学院工学研究科) ,  伊東聡 (東北大 大学院工学研究科) ,  清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  GAO Wei (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E33  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 回折格子はエンコーダのスケールとして広く用いられている。平面エンコーダに用いられる2軸格子は2軸方向に均一な回折効率を有することが求められており,均一な2軸格子形状を一括形成する手法の確立が望まれている。本報では,2軸格子形状を一括露光する3ビームロイドミラー干渉計を提案するとともに,干渉強度分布シミュレーションおよび露光実験により提案手法の有効性を検証した結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 位置センサ ,  変位測定 ,  レーザ干渉計 ,  *回折格子 ,  *レーザ加工 ,  回折効率

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 干渉計 ,  2軸 ,  回折格子 ,  研究