抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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機構部品が置かれる環境が多様で複雑なものになってきた現在,摺動面での材料の挙動は機器の性能に大きな影響を及ぼす。本稿では,ゼロ摩耗や超潤滑を目指した薄膜について解説した。初めに,ゼロ摩耗を目指した開発について述べ,耐摩耗性の向上,マイクロトライボロジーとゼロ摩耗,およびナノ構造制御による耐摩耗性の改善を記した。次に超潤滑を取上げ,摩擦を低減させるための表面材料構成,ダイヤモンド状炭素(DLC)膜による低摩擦化,およびナノ構造制御について述べた。最後に,薄膜トライボロジーの応用展開として,磁気ディスクヘッド用保護膜,自動車・機構部品,クリーン環境で使用する駆動機構,生体・医療,海洋用駆動機構およびマイクロ・ナノ技術について示した。