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J-GLOBAL ID：201502210871590464   整理番号：15A1167636

CrN皮膜の構造,機械およびトライボロジー特性へのバナジウムの影響

Influence of vanadium on structure, mechanical and tribological properties of CrN coatings

著者 (5件)： AISSANI L. (Univ. de Djijel, Jijel, DZA) ,  NOUVEAU C. (Arts et Metiers ParisTech, Cluny, FRA) ,  WALOCK M. J. (Univ. Alabama at Birmingham, AL, USA) ,  DJEBAILI H. (Univ. de Khenchela, Khenchela, DZA) ,  DJELLOUL A. (Univ. de Khenchela, Khenchela, DZA)
資料名： Surface Engineering  (Surface Engineering)
巻： 31  号： 10  ページ： 779-788  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： A0614C  ISSN： 0267-0844  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CrN化合物への第三元素添加により,特性が向上するという報告が多数ある。本研究では,RFマグネトロンスパッタリングを用いて,けい素基板上に作製した,バナジウムを第三元素としてドーピングしたCr-V-N皮膜について,CrNおよびVN二元皮膜と特性を比較した。得られたCr-V-N皮膜は,CrN皮膜に比べて,錐体形状表面の粗表面となり,ナノインデンテーション硬度は小さくなった。トライボロジー特性は,V量の増加により摩擦係数が下がる傾向が見られた。

シソーラス用語： *クロム化合物 ,  *窒化物 ,  *バナジウム ,  ドーピング ,  添加物効果 ,  ドーパント ,  *微細構造 ,  *機械的性質 ,  *トライボロジー ,  *蒸着膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ウエハ【IC】 ,  粗面 ,  ナノインデンテーション ,  押込硬さ ,  摩擦係数 ,  Young率 ,  *セラミック被覆
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  ケイ素基板 ,  *窒化クロム

分類 (1件)： 非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 皮膜 ,  トライボロジー特性 ,  バナジウム