KLIMASHIN F. F. について
Inst. of Materials Sci. and Technol., Technische Universitaet Wien, A-1060 Vienna, AUT について
RIEDL H. について
Inst. of Materials Sci. and Technol., Technische Universitaet Wien, A-1060 Vienna, AUT について
PRIMETZHOFER D. について
Dep. of Physics and Astronomy, Uppsala Univ., P.O. Box 516, SE 751 20 Uppsala, SWE について
PAULITSCH J. について
Inst. of Materials Sci. and Technol., Technische Universitaet Wien, A-1060 Vienna, AUT について
MAYRHOFER P. H. について
Inst. of Materials Sci. and Technol., Technische Universitaet Wien, A-1060 Vienna, AUT について
Journal of Applied Physics について
マンガン化合物 について
窒化物 について
クロム化合物 について
混合物 について
皮膜 について
ウエハ【IC】 について
反応性スパッタリング について
化学組成 について
微細構造 について
格子定数 について
膜応力 について
押込硬さ について
依存性 について
シリコン基板 について
組成依存性 について
窒化クロム について
窒化マンガン について
その他の無機化合物の薄膜 について
Mo について
Cr について
硬質皮膜 について
組成 について
誘起 について
進展 について
機械的性質 について