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J-GLOBAL ID:201502210904903439   整理番号:15A1350390

中赤外VCSEL用のGaAs/AlOx高コントラストグレーティングミラー

GaAs/AlOx high-contrast grating mirrors for mid-infrared VCSELs
著者 (10件):
資料名:
巻: 9372  ページ: 93720S.1-93720S.9  発行年: 2015年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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中赤外垂直共振器型面発光レーザ(MIR-VCSEL)の新規構造を提案し,作製・特性評価を行った。新構造は,GaSb/AlAsSb上面Bragg反射面に代わるAlOx/GaAs高コントラストサブ波長グレーティングミラー(HCGミラー) および,酸化物開口による横方向閉じ込め構造を含む。粒子群最適化アルゴリズムに基づくオリジナル設計手法を開発することで,ナノ製造において大きな公差を許容するロバスト設計を可能とした。室温での電気励起発光を確認した。
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分類 (1件):
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半導体レーザ 
タイトルに関連する用語 (2件):
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