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J-GLOBAL ID：201502210949869877   整理番号：15A0494641

ピエゾ電気カンチレバーを用いたKelvinプローブ力顕微鏡による,UV照射下における白金電極上のフラーレン誘導体膜の表面電位研究

Surface Potential Investigation of Fullerene Derivative Film on Platinum Electrode under UV Irradiation by Kelvin Probe Force Microscopy Using a Piezoelectric Cantilever

著者 (7件)： SATOH Nobuo (Dep. of Electronic Sci. and Engineering, Kyoto Univ.) ,  KATORI Shigetaka (Dep. of Electronic Sci. and Engineering, Kyoto Univ.) ,  KOBAYASHI Kei (The Hakubi Center for Advanced Res., Kyoto Univ.) ,  WATANABE Shunji (Nikon Corp.) ,  FUJII Toru (Nikon Corp.) ,  MATSUSHIGE Kazumi (Dep. of Electronic Sci. and Engineering, Kyoto Univ.) ,  YAMADA Hirofumi (Dep. of Electronic Sci. and Engineering, Kyoto Univ.)
資料名： e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)  (e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻： 13  ページ： 102-106 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： U0016A  ISSN： 1348-0391  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Kelvinプローブ力顕微鏡(KFM)と結合した動力学的モード原子間力顕微鏡(DFM)は,表面トポグラフィーイメージングのためだけでなく,ナノメータースケールの解像度での表面電位を研究するためにも強力なツールである。ジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)ピエゾ電気薄膜の微細加工カンチレバーを偏位センサとして用いてDFM/KFMを開発した。著者らの実験設定ではカンチレバー偏位センシングに光は必要ないので,観察試料は完全に暗い環境に置くことができる。実験系には,試料に紫外線(UV)を照射するための装置も備えている。ケイ素上に白金をのせた基板を調製し,交差方向に二つのシャドーマスクを用いて,真空蒸着によりフラーレン誘導体(PCBM;[6,6]-フェニル-C₆₁-酪酸メチルエステル)膜パターンを析出させた。開発したDFM/KFMを用いて,同じ領域のトポグラフィーイメージと表面電位イメージを同時に得ることにより,バンド曲がりのあるエネルギーバンド図が作成された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *フラーレン ,  *薄膜成長 ,  白金電極 ,  *表面電位 ,  *圧電気 ,  *片持梁 ,  *顕微鏡観察 ,  *原子間力顕微鏡 ,  トポグラフィー【形態】 ,  表面構造 ,  分解能 ,  紫外線照射 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  微細加工 ,  ウエハ【IC】 ,  真空蒸着 ,  パターン形成 ,  バンド構造 ,  有機半導体 ,  空間電荷 ,  膜厚 ,  視野 ,  高分子膜
準シソーラス用語： PCBM ,  *フラーレン誘導体 ,  ピエゾ電気 ,  *圧電カンチレバー ,  *Kelvinプローブ力顕微鏡法 ,  表面トポグラフィー ,  画像解像度 ,  PZT【鉛化合物】 ,  ケイ素基板 ,  エネルギーバンド ,  暗視野

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (8件)： ピエゾ電気 ,  カンチレバー ,  Kelvinプローブ力顕微鏡 ,  UV照射 ,  白金電極 ,  フラーレン誘導体 ,  表面電位 ,  研究