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J-GLOBAL ID：201502211014842927   整理番号：15A1344473

アブレーションプロセスの強化のための普通金属のps-レーザバーストモードの基礎研究

Fundamental investigations of ps-laser burst-mode on common metals for an enhanced ablation process

著者 (4件)： HAENEL N. (Photonik-Zentrum Kaiserslautern e.V., Rhineland-Palatinate, DEU) ,  STOLZE M. (Photonik-Zentrum Kaiserslautern e.V., Rhineland-Palatinate, DEU) ,  HERRMANN T. (Photonik-Zentrum Kaiserslautern e.V., Rhineland-Palatinate, DEU) ,  LHUILLIER J.A. (Photonik-Zentrum Kaiserslautern e.V., Rhineland-Palatinate, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9351  ページ： 93510E.1-93510E.14  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アブレーションの方法の違いをよく理解するため,銅,アルミニウム,チタン,タングステンおよび亜鉛などの異なるタイプの金属のピコ秒レーザアブレーション(マイクロ加工)を調べた。単一パルスアブレーションの実験により,損傷閾値を355nm,532nmおよび1064nmのレーザ波長に対して決定した。それらは理論と良く一致した。単一パルスアブレーション後の表面形態を,走査型電子顕微鏡を用いて全ての金属について調べた結果,閾値インフルエンス近傍で,チタンと亜鉛以外はレーザによってできたクレータ内にラフな表面が観察された。インフルエンスを増大させると表面は滑らかなになった。単一パルスに加え,連続するパルス間隔が1秒と20ナノ秒の間の時間遅延を使用して,最大6パルスのマルチパルスアブレーション実験も行った。表面形態は,単一パルスアブレーションから第2パルスの適用の間に,かなり変化した。マルチパルス実験における時間遅延の違いを比較することで,ピコ秒レーザ処理におけるバーストモードが熱を蓄積することがわかった。これは,強い溶融膜の出現,アブレーションクレータの平滑化,およびクレータの外側の溶融飛沫に繋がる。チタンおよび亜鉛とともに銅とアルミニウムは,バーストモードの使用によって同様のアブレーション挙動を示すことを見出した。

シソーラス用語： *レーザアブレーション ,  *パルスレーザ ,  銅 ,  アルミニウム ,  チタン ,  タングステン ,  亜鉛 ,  *レーザ加工 ,  パルス ,  レーザ損傷 ,  *閾値 ,  *金属 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  *モード
準シソーラス用語： *ピコ秒レーザ ,  表面形態 ,  *バーストモード

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (8件)： アブレーション ,  プロセス ,  強化 ,  PS ,  レーザ ,  バーストモード ,  基礎 ,  研究