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J-GLOBAL ID：201502211039442191   整理番号：15A0535835

ナノ粉末圧縮ターゲットからスパッタしたCa添加ZnO薄膜の電気的および光学的特性に及ぼすスッパタリングパワーの影響

Effect of sputtering power on the electrical and optical properties of Ca-doped ZnO thin films sputtered from nanopowders compacted target

著者 (5件)： MAHDHI H. (Lab. de Physique des Materiaux et des Nanomateriaux appliquee a l’Environnement (LaPhyMNE), Fac. des Sciences de ...) ,  BEN Ayadi Z. (Lab. de Physique des Materiaux et des Nanomateriaux appliquee a l’Environnement (LaPhyMNE), Fac. des Sciences de ...) ,  GAUFFIER J.L. (Dep. de Genie Physique, INSA de Toulouse, 135 Avenue de Rangueil, 31077 Toulouse cedex 4, FRA) ,  DJESSAS K. (Lab. Procedes, Materiaux et Energie Solaire (PROMES-CNRS), Univ. de Perpignan, Rambla de la thermodynamique ...) ,  ALAYA S. (Lab. de Physique des Materiaux et des Nanomateriaux appliquee a l’Environnement (LaPhyMNE), Fac. des Sciences de ...)
資料名： Optical Materials  (Optical Materials)
巻： 45  ページ： 97-103  発行年： 2015年07月 
JST資料番号： W0468A  ISSN： 0925-3467  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法から作製したナノ結晶粒子をターゲット材料として用いるマグネトロンスッパッタリング法によって,酸化亜鉛薄膜を蒸着した。はじめに,エチルアルコール中での超臨界乾燥を用いるゾルゲル法によって,ナノ粒子を合成した。X線回折分析により検討した構造的特性から,Ca添加ZnO(CZO)は粒子寸法が約30nmの多結晶六方晶ウルツ鉱型構造を持つことが示唆された。透過電子顕微鏡(TEM)測定から,合成したCZOはナノ寸法粉末であることが示された。ついで,rfマグネトロンスパッタリングにより,環境温度で薄膜をガラス基板上に蒸着した。構造的,モホロジー的,電気的,および光学的特性に及ぼすRFスパッタリングパワーの影響を調べた。蒸着した全ての膜は六方晶ウルツ鉱型構造をとる多結晶であり,(002)結晶方向に優先配向していることが見いだされた。これらは典型的な柱状構造をとり,その表面は極めて滑らかであった。蒸着した状態の膜は,可視領域において85%以上の高い透過率と,室温で低い電気抵抗率を示した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *薄膜 ,  ドーピング ,  カルシウム ,  依存性 ,  電気抵抗率 ,  透過率 ,  ゾル-ゲル法 ,  ナノ結晶 ,  ナノ構造 ,  微粉体 ,  マグネトロンスパッタリング ,  乾燥 ,  X線回折分析 ,  透過型電子顕微鏡 ,  結晶形態 ,  結晶構造 ,  ウルツ鉱型結晶
準シソーラス用語： ZnO薄膜 ,  ナノ粉末 ,  パワー依存性 ,  光透過率 ,  超臨界乾燥

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノ粉末 ,  ターゲット ,  スパッタ ,  Ca ,  ZnO薄膜 ,  光学的特性