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J-GLOBAL ID：201502211116851181   整理番号：15A1043894

グラフェン酸化物薄膜に基づく湿度センサーに及ぼす高速熱処理の影響

Effects of rapid thermal annealing on humidity sensor based on graphene oxide thin films

著者 (2件)： PHAN Duy-Thach (School of Electrical Engineering, Univ. of Ulsan, 93 Daehak-ro, Nam-gu, Ulsan 680-49, KOR) ,  CHUNG Gwiy-Sang (School of Electrical Engineering, Univ. of Ulsan, 93 Daehak-ro, Nam-gu, Ulsan 680-49, KOR)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 220  ページ： 1050-1055  発行年： 2015年12月01日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿で我々はグラフェン酸化物(GO)への酸素機能グループの吸着量を制御する為に高速熱処理(RTA)を如何に有効に使用するかを示す。GO薄膜はGOを分散した溶液をSiO₂/Si基板にスプレーされ,400から1200°Cの様々な温度でRTAでアニールされた。提案した方法により400°CのアニーリングでGOの著しい還元が起き,1200°CのGOアニーリングで殆どの酸素を含む機能性が殆ど除去された。アニーリング温度が上昇するに連れて,抵抗が減少し,そしてGOフィルムはその優れた水蒸気吸収能力を失った。これらのGOフィルムに形成された湿度センサーの応答(s)はアズデポのGOの場合35.3%から1200°CでアニールしたGOの場合0.075%に減少し,応答時間はアニールしたサンプルで増加する。湿度に対する最も高い応答はアズデポのGOで得る事が出来るが,グラフェン酸化物に基づく湿度センサーの応答と長期安定性の間にはアズデポのGOは安定性が不十分なのでトレードオフが存在する。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *グラフェン ,  *酸化物 ,  *薄膜 ,  *湿度センサ ,  *RTA【熱処理】 ,  基板 ,  ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  還元 ,  噴霧 ,  *溶液成長 ,  薄膜成長 ,  *応答時間 ,  *安定性
準シソーラス用語： グラフェン酸化物 ,  長期安定性

分類 (1件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： グラフェン ,  酸化物薄膜 ,  湿度センサー ,  高速熱処理