ハードディスクドライブ媒体に対する対向ターゲット式スパッタダイヤモンド状炭素被膜の研究

SEET H.L.; NG K.K.; CHEN X.Y.; YANG P.; SHEN L.; JI R.; NG H.X.; LIM C.B.

文献

J-GLOBAL ID：201502211170455908 整理番号：15A0621323

ハードディスクドライブ媒体に対する対向ターゲット式スパッタダイヤモンド状炭素被膜の研究

Study of facing target sputtered diamond-like carbon overcoats for hard disk drive media

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資料名：
巻： 586 ページ： 58-63 発行年： 2015年07月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ハードディスクドライブ産業におけるより高い面密度の要求は,盛んな研究努力を促し,磁気的空間の縮小に焦点を当てている。ハードディスクドライブのインタフェース領域において,重要な焦点の1つは,被膜の保護性能を損なわない炭素皮膜厚の削減である。したがって,炭素皮膜厚を削減する代替法の研究において,ダイヤモンド状炭素被膜に対する対向ターゲット式スパッタ(FTS)プロセスを調べた。本論文において,化学蒸着や窒素を用いた反応性スパッタリングなどのような他のプロセスによる従来のダイヤモンド状炭素(DLC)層と比較して得られた性質を報告した。X線反射法の結果から,対向ターゲット式スパッタDLC試料は,水素化または窒化DLC試料と比べて,2.87g/cm³という著しく高い密度を示すことが」わかった。これは,X線光電子分光測定から得られたように,高いsp³含有量に起因する。高いsp³含有量の結果として,FTS蒸着試料試料の硬度は,水素化または窒化DLC試料よりも高い。さらに,接触角測定を通じて,FTS試料の表面エネルギーは,窒化試料の値と同等か,それよりも小さいことがわかった。従来のDLC試料のものと同等な間隙を実現でき,試料ディスクは飛行可能であった。また,摩耗性能試験から,FTS蒸着DLC試料については摩耗耐性が優れているが,ヘッドの摩耗も高いことがわかった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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その他の無機化合物の薄膜

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