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J-GLOBAL ID：201502211300912826   整理番号：15A0602565

高温におけるYAlO₃単結晶の結晶構造に関する実験観測

Experimental observations on the crystalline structures of YAlO₃ single crystal at high temperatures

著者 (4件)： INOUE Takahiro (Waseda Univ., Dep. of Electrical Engineering and Bioscience, 169-8555, Tokyo, JPN) ,  MORIMOTO Takaaki (Waseda Univ., Dep. of Electrical Engineering and Bioscience, 169-8555, Tokyo, JPN) ,  OHKI Yoshimichi (Waseda Univ., Dep. of Electrical Engineering and Bioscience, 169-8555, Tokyo, JPN) ,  OHKI Yoshimichi (Waseda Univ., Res. Inst. for Materials Sci. and Technol., 169-8555, Tokyo, JPN)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 119  号： 4  ページ： 1423-1429  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高誘電率ゲート絶縁材料YAlO₃に対する熱アニーリングの効果を理解するために,その単結晶を900~1300°Cの範囲のいろいろな高温でアニールし,X線回折,赤外吸収分光法,レーザ共焦点顕微鏡法,原子間力顕微鏡法などのいろいろな装置解析により調べた。その結果として,結晶YAlO₃は1300°Cまでの温度範囲で少なくとも三つの構造を取ることが明らかにされた。即ち1160°C以下ではペロブスカイト型であって,1160°Cでガーネット構造が現れ始めるが,1250°Cで未知の構造が現れた。一方,温度が1160°Cを超えると,試料表面も顕著な変化を示した。その上,1200または1250°Cでのアニーリング後に多くの楕円スポットが誘起された。更に,1300°Cでヒドロキシル基が生成された。半導体デバイスの製造などのいろいろな産業目的のためには,YAlO₃のアニーリング温度の決定においてこれらの構造変化を考慮することが望ましい。Copyright 2015 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *アルミン酸塩 ,  *イットリウム化合物 ,  *単結晶 ,  *結晶構造 ,  表面構造 ,  *温度依存性 ,  X線回折 ,  *赤外吸収スペクトル ,  共焦点レーザ顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  *高温 ,  *焼なまし ,  絶縁膜 ,  誘電体薄膜 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  ガーネット型結晶 ,  顕微鏡観察 ,  光学顕微鏡法 ,  ゲート絶縁膜
準シソーラス用語： FTIRスペクトル ,  *アルミン酸イットリウム ,  レーザ共焦点顕微鏡 ,  高k誘電体

分類 (3件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y) ,  無機化合物の赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル  (BM08063C)

タイトルに関連する用語 (5件)： YAlO3 ,  単結晶 ,  結晶構造 ,  実験 ,  観測