{{ $t("message.ADVERTISEMENT") }}
{{ $t("message.AD_EXPIRE_DATE") }}2024年03月
文献
J-GLOBAL ID:201502211432082717   整理番号:15A0601035

光学式3軸角度センサの小型化に関する研究

著者 (5件):
資料名:
巻: 2015  号: 春季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.C31  発行年: 2015年03月01日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
次世代超精密ステージにおけるサブnm級位置決め実現のため,ステージ微小姿勢角の高速検出・フィードバック制御技術の確立が求められている。筆者らは2次元回折格子を用いてシングルレーザ光で3軸姿勢を一括検出する,光学式3軸角度センサを開発している。本報では,リニアエンコーダの光学式センサヘッドと同等サイズのコンパクトな3軸角度センサヘッド光学系を設計・試作し,その基礎特性を検討した結果を報告する。(著者抄録)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

準シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
工作機械要素,ジグ,チャック  ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

前のページに戻る