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J-GLOBAL ID：201502211584440570   整理番号：15A0343817

圧力センサの温度補償のために設計された耐応力温度センサ

Stress-Endurable Temperature Sensor Designed for Temperature Compensation on a Pressure Sensor

著者 (5件)： MOON Young-Soon (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  RYU In-Cheol (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  SON Won-Ho (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  LEE Si-Hun (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  CHOI Sie-Young (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 27  号： 1  ページ： 125-133  発行年： 2015年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本文では,温度センサの機械的特性と温度特性が,シリコン歪み計を有した圧力センサの有効温度補償のために紹介された。センサの抵抗は温度により変化するので,(001)面での<100>方向のP型拡散抵抗が温度センサとして働く。典型的温度センサと異なり,センサ抵抗は圧力下でのダイヤフラム変形によるダイヤフラムに働く応力により影響を受けない。従って,ダイヤフラムの位置に関係なく,温度センサは,温度に従った正確な抵抗値を提供する。温度センサの抵抗変化の僅か0.0062%しかダイヤフラム変形の機械的応力に影響を与えない。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 応力 ,  許容量 ,  *温度センサ ,  *圧力センサ ,  *温度補償 ,  ケイ素 ,  歪計 ,  拡散 ,  抵抗 ,  ダイヤフラム ,  圧電気 ,  効果 ,  ストレス

分類 (1件)： 温度測定,温度計  (AD06010K)

引用文献 (20件)：

• C. S. Smith: Phys. Rev. 94 (1954) 42.
• W. K. Schomburg, Z. Rummler, P. Shao, K Wulff and L. Xie: J. Micromech. Microeng. 14 (2004) 1101.
• Y. Kanda: IEEE Trans. Electron Devices ED-29 (1982) 64.
• A. Yayasukaya, M. Shimazoe and Y. Matsuoke: IEEE Trans. Electron Devices 36 (1989) 1295.
• Y. Kanda and A. Yasukawa: Sens. Actuators, A 62 (1997) 539.

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧力センサ ,  温度補償 ,  設計 ,  温度センサ