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J-GLOBAL ID：201502211702362467   整理番号：15A0796506

Mo-Si-B合金のマグネトロンスパッタMo(Si_x,Al_1-x)₂酸化防止被覆

Magnetron Sputtered Mo(Si_x,Al_1-x)₂ Oxidation Protection Coatings for Mo-Si-B Alloys

著者 (3件)： LANGE Annika (German Aerospace Center (DLR), Inst. of Materials Res., Linder Hoehe, 51148, Cologne, DEU) ,  BRAUN Reinhold (German Aerospace Center (DLR), Inst. of Materials Res., Linder Hoehe, 51148, Cologne, DEU) ,  HEILMAIER Martin (Karlsruhe Inst. of Technol. (KIT), Inst. for Applied Materials, Engelbert-Arnold-Strasse 4, 76128, Karlsruhe, DEU)
資料名： Oxidation of Metals  (Oxidation of Metals)
巻： 84  号： 1-2  ページ： 91-104  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： E0165C  ISSN： 0030-770X  CODEN： OXMEAF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Mo-Si-B合金の酸化防止被覆膜Mo(Si_x,AL_1-x)₂のマグネトロンスパッタ形成2μmの厚さの拡散障壁および5μmの厚さの酸化保護トップコートとから成る二層被覆膜を,マグネトロンスパッタ法を用いて,Mo-Si-B合金上に堆積させた。堆積したままのアモルファス被覆膜の真空アニールの間に,Mo-12Si-21B(at%)は,正方晶D8₁-Mo₅SiB₂中間相に進化した。一方,トップコートMo-48Si-24AlとMo-71Si-8Al(at%)は,それぞれC40-Mo(Si,Al)₂とC11_b-MoSi₂相が形成された。被覆されたサンプルの酸化挙動は空気循環条件下,800°Cと1000°Cで検討した。被覆していない基板に比べ被覆されたサンプルは,両方の温度でかなりの質量損失を減少させた。シリカとムライトのような酸化物の混合物スケールが,800°Cで被覆膜上に形成された。また,外側にホウ酸アルミニウム針がMo-48Si-24Alトップコート上で増殖した。1000°Cでは両方の被覆は100h以上の保護され,シリカとムライトのようなの緻密スケール相を形成した。Copyright 2015 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *モリブデン合金 ,  ケイ素含有合金 ,  ホウ素含有合金 ,  ケイ化物 ,  アルミニウム化合物 ,  マグネトロンスパッタリング ,  モリブデン化合物 ,  酸化防止 ,  *表面処理 ,  気相めっき ,  非晶質 ,  焼なまし ,  結晶化 ,  緻密化 ,  *防食 ,  高温酸化
準シソーラス用語： アモルファス ,  繰返し酸化 ,  真空焼なまし

分類 (2件)： 防食  (WB03040M) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (4件)： Mo-Si-B合金 ,  マグネトロンスパッタ ,  Mo ,  酸化防止