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J-GLOBAL ID：201502211789398640   整理番号：15A0486599

ガラス上に浸漬被覆した酸化インジウムスズ膜のナノ機械的特性

Nanomechanical properties of dip coated indium tin oxide films on glass

著者 (7件)： BISWAS Nilormi (Advanced Mechanical and Materials Characterization Div., CSIR - Central Glass and Ceramic Res. Inst., 196 Raja SC ...) ,  GHOSH Priyanka (Sol-Gel Div., CSIR - Central Glass and Ceramic Res. Inst., 196 Raja SC Mullick Road, P.O. Jadavpur Univ., Kolkata ...) ,  SARKAR Saswati (Sol-Gel Div., CSIR - Central Glass and Ceramic Res. Inst., 196 Raja SC Mullick Road, P.O. Jadavpur Univ., Kolkata ...) ,  MOITRA Debabrata (Sol-Gel Div., CSIR - Central Glass and Ceramic Res. Inst., 196 Raja SC Mullick Road, P.O. Jadavpur Univ., Kolkata ...) ,  BISWAS Prasanta Kumar (Sol-Gel Div., CSIR - Central Glass and Ceramic Res. Inst., 196 Raja SC Mullick Road, P.O. Jadavpur Univ., Kolkata ...) ,  JANA Sunirmal (Sol-Gel Div., CSIR - Central Glass and Ceramic Res. Inst., 196 Raja SC Mullick Road, P.O. Jadavpur Univ., Kolkata ...) ,  MUKHOPADHYAY Anoop Kumar (Advanced Mechanical and Materials Characterization Div., CSIR - Central Glass and Ceramic Res. Inst., 196 Raja SC ...)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 579  ページ： 21-29  発行年： 2015年03月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 市販ソーダライムシリカ(SLS)ガラス基板上に種々の酸化物重量パーセント(重量%)の前駆体ゾルから浸漬被覆したインジウムスズ酸化物(ITO)薄膜のナノ機械的特性を50μNの超低負荷でのナノインデンテーション法により評価した。6を超えたwt.%に前駆体ゾルを増加することは,膜のナノ硬度及びヤング率に悪影響を及ぼすことが見出された。また,比較的厚い3層膜(約240 nm)は,単層膜に比較して,劣るナノ機械的特性を有していた。興味深いことに,SLSガラス基板上のITO発泡性被膜は,単層膜とほぼ同じ良好なナノ機械的特性を有していた。膜の結晶性,剛性,及び弾性変形能の相対的な差の観点から,これらの観察結果を説明した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化インジウムスズ ,  基板 ,  石英ガラス ,  *被覆 ,  *ナノインデンテーション ,  *透明導電膜 ,  *機械的性質 ,  微小硬さ ,  Young率 ,  薄膜 ,  起泡 ,  結晶度
準シソーラス用語： 浸漬被覆 ,  ナノ機械的特性 ,  ナノ硬度 ,  単層膜 ,  発泡

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： ガラス ,  浸漬被覆 ,  酸化インジウムスズ ,  機械的特性