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J-GLOBAL ID：201502212012842349   整理番号：15A0990720

MEMS技術に基づいたサブミリ波ミクサの設計と製作【Powered by NICT】

Design and Fabrication of a Sub-Millimeter Mixer Based on MEMS Technology

著者 (5件)： Li Jianhua (National Key Lab. of Sci. and Technol. on Electromechanical Dynamic Control, Beijing Inst. of Technol., Beijing) ,  Xu Lixin (National Key Lab. of Sci. and Technol. on Electromechanical Dynamic Control, Beijing Inst. of Technol., Beijing) ,  Chen Hefeng (MEMS Center, Huaihai Industries Group Co. Ltd, Shanxi, Changzhi) ,  Wang Fengqin (MEMS Center, Huaihai Industries Group Co. Ltd, Shanxi, Changzhi) ,  Fu Bo (MEMS Center, Huaihai Industries Group Co. Ltd, Shanxi, Changzhi)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 28  号： 1  ページ： 009-012  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ミクサは信号輸送の基本的RFデバイスであり,多くの分野で応用される可能性を持っている。MEMS技術に基づく新しいサブミリ波ミキサデバイスを設計し,作製した。この設計では,高い誘電率を持つSU-8フォトレジストは,デバイスの誘電体層として使用した。,フォトリソグラフィー,マイクロストリップなどの電気めっきのようなその後の処理はSU-8誘電体層上に行った。正と負のフォトレジスト犠牲プロセスを用いて,新しいサブミリ波ミキサを実証した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 誘電率 ,  フォトリソグラフィー ,  *MEMS ,  フォトレジスト ,  マイクロストリップ線路 ,  電気めっき ,  誘電体
準シソーラス用語： SU-8 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  サブミリ波ミクサ ,  設計 ,  製作