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J-GLOBAL ID：201502212155985787   整理番号：15A1279604

自動ゼロ設定・時間多重・差動手法を使った低電力で高感度の容量加速度計IC

A Low-Power Highly Sensitive Capacitive Accelerometer UC Using Auto-Zero Time-Multiplexed Differential Technique

著者 (4件)： WANG Yan Mei (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  CHAN Pak Kwong (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  LI Holden King Ho (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  ONG Soon-Eng (Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 11  ページ： 6179-6191  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 容量加速度計のスイッチトキャパシター(SC)式読み取り集積回路(IC)用に,自動ゼロ設定・時間多重・差動式・容量-電圧変換器(AZTMD-CVC)を提案した。信号処理ブロック,発振器,クロック発生器などを一体化した特定用途向け集積回路(ASIC)設計となっている。0.35μm CMOS工程で作製し,バルクマイクロマシン加工された加速度計センサーデバイスのインターフェイスとした。このCVCは,簡単なシングルエンド接続形態で時間多重化差動出力を作り出すので,dcオフセットや1/f雑音などの共通モード誤差が大きく減少する。このASICの消費電流は±2.5V電源から240μA,加速度計の感度は1.95V/g,雑音フロアーは250Hzにおいて1.16μg/√Hz,出力雑音電力積・性能指数(FOM)は0.28(μg/√Hz) x mAであった。

シソーラス用語： *消費電力 ,  *高感度 ,  *加速度計 ,  *SC回路 ,  *マイクロマシニング ,  *MEMS ,  片持梁 ,  雑音低減 ,  電気変換器 ,  データ読取 ,  1/f雑音 ,  ドリフト ,  温度変動 ,  熱雑音 ,  雑音解析 ,  半導体チップ ,  *CMOS構造 ,  OTA【増幅器】 ,  電圧変動 ,  周波数変動 ,  *ASIC ,  バルクマイクロマシニング ,  熱ドリフト ,  *MOS構造
準シソーラス用語： 低電力 ,  容量電圧変換器 ,  *容量性加速度計

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多重 ,  差動 ,  手法 ,  低電力 ,  高感度 ,  加速度計 ,  IC