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J-GLOBAL ID：201502212743720072   整理番号：15A1369266

マイクロレンズの集積を使用したCMOS SPADアレーのフィルファクタの改善

Enhancing the fill-factor of CMOS SPAD arrays using microlens integration

著者 (11件)： INTERMITE G. (Heriot-Watt Univ., Edinburgh, GBR) ,  WARBURTON R. E. (Heriot-Watt Univ., Edinburgh, GBR) ,  MCCARTHY A. (Heriot-Watt Univ., Edinburgh, GBR) ,  REN X. (Heriot-Watt Univ., Edinburgh, GBR) ,  VILLA F. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  WADDIE A. J. (Heriot-Watt Univ., Edinburgh, GBR) ,  TAGHIZADEH M. R. (Heriot-Watt Univ., Edinburgh, GBR) ,  ZOU Y. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  ZAPPA F. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  TOSI A. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  BULLER G. S. (Heriot-Watt Univ., Edinburgh, GBR)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9504  ページ： 95040J.1-95040J.12  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿で我々は二つの異なるセットの32x32プラノ-コンベックス無限と有限回折マイクロレンズを接合したものを32x32 シリコンCMOS 単一光子アバランシェフォトダイオード(SPADs)アレーに集積化し,そのフィルファクタの回復に付いて報告する。両方のマイクロレンズのセットは波長808nmでの動作で設計されているが,特性評価はスペクトル範囲500-900nmで実施した。カスタムのテレセントリックイメージングシステムを用いて,異なるfナンバーのマイクロレンズの集積による改良ファクター(IF)を測定し,そしてSPADアレーにマイクロレンズを集積化した科学技術文献で最も高いIFを実現した。最後に,我々は全てのfナンバーと調査したスペクトル範囲でマイクロレンズの有りのチップと無しのチップでIFの優れた均一性10%以下を示した。

シソーラス用語： *マイクロレンズ ,  集積光学 ,  *CMOS構造 ,  半導体素子 ,  *光検出器 ,  *アバランシェダイオード ,  配列 ,  *撮像特性 ,  イメージセンサ ,  *回復
準シソーラス用語： *フィルファクタ

分類 (1件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロレンズ ,  集積 ,  CMOS ,  SPAD ,  アレー ,  フィルファクタ