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J-GLOBAL ID：201502212805511025   整理番号：15A0989430

単一ウエハメガソニック洗浄のシミュレーションモデルに関する研究【Powered by NICT】

Study on Simulation Model of Single-wafer Megasonic Cleaning

著者 (8件)： Zhu Yaan (Yunnan Olightek Opto-electronic technology Co.,Ltd, Kunming) ,  Duan Yu (Yunnan Olightek Opto-electronic technology Co.,Ltd, Kunming) ,  Song Liyuan (Yunnan Olightek Opto-electronic technology Co.,Ltd, Kunming) ,  Sun Qiyan (Yunnan Olightek Opto-electronic technology Co.,Ltd, Kunming) ,  Yin Yane (Yunnan Olightek Opto-electronic technology Co.,Ltd, Kunming) ,  Yang Weiping (Yunnan Olightek Opto-electronic technology Co.,Ltd, Kunming) ,  Wan Ruimin (Yunnan Olightek Opto-electronic technology Co.,Ltd, Kunming) ,  Ji Huaxia (Yunnan Olightek Opto-electronic technology Co.,Ltd, Kunming)
資料名： Hongwai Jishu  (Hongwai Jishu)
巻： 37  号： 1  ページ： 48-53  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2520A  ISSN： 1001-8891  CODEN： HOJIEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： メガソニックエネルギーの分布と粒子洗浄のプロセスを計算するためのモードは単一ウエハにおけるメガソニックアームのメガソニックエネルギーと運動の分布を研究することにより実証した。モデルはMathematica9.0による単純化し,異なる回転速度比,洗浄効果が回転速度とメガソニックアームの運動軌跡に密接に関係していることを示し,MATLABによってシミュレーションした。一方,メガソニックエネルギーの分布は走査半径,ICおよび処理時間への損傷を減少させることができ,を固定することにより,より均一になる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 回転数 ,  走査 ,  加工時間 ,  *シミュレーションモデル ,  簡素化 ,  *ウエハ【IC】
準シソーラス用語： MATLAB , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： ウエハ ,  メガソニック洗浄 ,  シミュレーションモデル ,  研究