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J-GLOBAL ID：201502212981172970   整理番号：15A0642613

高い光学性能のための埋め込まれたPZTアクチュエータを持つ新しい可変焦点液体レンズの作製と特性評価

FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF A NEW VARIFOCAL LIQUID LENS WITH EMBEDDED PZT ACTUATORS FOR HIGH OPTICAL PERFORMANCES

著者 (9件)： NICOLAS Stephane (LETI, CEA, Grenoble, FRA) ,  ALLAIN Marjolaine (LETI, CEA, Grenoble, FRA) ,  BRIDOUX Claudine (LETI, CEA, Grenoble, FRA) ,  FANGET Stephane (LETI, CEA, Grenoble, FRA) ,  LESECQ Suzanne (LETI, CEA, Grenoble, FRA) ,  ZARUDNIEV Mykhailo (LETI, CEA, Grenoble, FRA) ,  BOLIS Sebastien (WAVELENS, Grenoble, FRA) ,  POUYDEBASQUE Arnaud (WAVELENS, Grenoble, FRA) ,  JACQUET Fabrice (WAVELENS, Grenoble, FRA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.1  ページ： 65-68  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,埋め込まれたPZTアクチュエータを持つコンパクトな可変焦点レンズの製造と特性評価を説明した。デバイスの製造に使用されるプロセスは,特許を取得し,潜在的な工業化の観点から,高い歩留まりと信頼性を保証することができ,標準的なMEMSプロセスをベースとした。システムの非常に良好な光学性能のおかげで,オートフォーカスアプリケーション(10ジオプター)のために必要な光パワーの変化は光学的開口の広い範囲のために達成することができた。良好な光学的品質,低消費電力(<0.1μW)と高速応答時間(数ms)をも作動部の信頼性だけでなく,実証した(0Vおよび10Vで10万サイクル)。これらの結果は,このデバイスは,小型,高速,低消費電力,低コストの可変焦点レンズを提供する有望な候補であり,近い将来にカメラ付き携帯電話や小型カメラ用のボイスコイルモータに興味深い代替であり得たことを実証した。

シソーラス用語： *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  レンズ ,  *アクチュエータ ,  キャラクタリゼーション ,  MEMS ,  焦点合せ ,  リニアモータ
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  オートフォーカス ,  ボイスコイルモータ ,  液体レンズ ,  *可変焦点レンズ ,  特性評価

分類 (2件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 光学性能 ,  PZT ,  アクチュエータ ,  可変焦点 ,  液体レンズ ,  作製 ,  特性評価