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J-GLOBAL ID：201502213046988616   整理番号：15A0965935

マイクロ波励起高密度近接プラズマを用いた高速DLC成膜の開発

著者 (1件)： 篠田健太郎 (ブラザー工業)
資料名： 機械の研究  (Science of Machine)
巻： 67  号： 9  ページ： 754-760  発行年： 2015年09月01日 
JST資料番号： F0147A  ISSN： 0368-5713  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜は,水素や金属添加により,特性が大きく変わることが知られており,幅広い分野への適用が進んできており,さらなる膜特性の向上やコストダウンが求められている。これらの要求へ対応するため,新たな成膜方法の開発が進められている.本稿では,従来よりも高速でDLC成膜が可能なマイクロ波励起高密度近接プラズマの特徴と,それを用いて成膜したDLC膜の特性について紹介した。現在,開発されている連続加工方式を用いて少量多品種かつ低コストで成膜するには,いくつかの課題がある。その中で最も重要な課題は,高速でDLC成膜可能な技術の確立である。そこで,100μm/h(≒27.8nm/s)を超える高速かつ3次元形状の表面へDLC成膜が可能な技術としてマイクロ波励起高密度近接プラズマ(MVP)法の適用が期待されていると述べ,このMVP法によるプラズマの生成原理,およびMVP法による高速DLCプロセス開発について概説した。次に,MVP装置によりDLC膜を成膜した被加工材料の膜特性を調査し,DLC膜特性および摩擦特性について言及した。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *マイクロ波 ,  水素 ,  原価低減 ,  工作物 ,  *プラズマ ,  高速度
準シソーラス用語： *高密度 ,  *三次元形状 ,  *成膜 ,  低コスト ,  *摩擦特性

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロ波 ,  励起 ,  高密度 ,  プラズマ ,  DLC ,  成膜 ,  開発