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J-GLOBAL ID：201502213099545422   整理番号：15A0959454

スマート社会に向けて進歩するMEMS技術 MEMS技術を用いた非冷却赤外線熱イメージセンサ

著者 (1件)： 塚本貴城 (東北大)
資料名： 金属  (Materials Science & Technology)
巻： 85  号： 9  ページ： 708-715  発行年： 2015年09月01日 
JST資料番号： F0157A  ISSN： 0368-6337  CODEN： KNZKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 赤外線イメージセンサ(サーモグラフィ)とは,物体が発生する赤外線を検出することで,対象物の温度分布を画像化する技術である。近年,MEMS技術を用いることで,高性能,低価格なセンサが開発されている。本稿では,これまでに報告されている様々な方式の赤外線熱イメージングセンサについてそれぞれの検出原理と構造を紹介した。まず,遠赤外線の強度を測定することで,対象物の温度が分かる理由を説明した上で,MEMSを用いた熱イメージセンサの原理を概説した。赤外線吸収体と断熱支持構造が配列された赤外線センサアレイは焦点面アレイ(Focal Plane Array;FPA)と呼ばれる。次に,赤外線吸収体の温度変化の様々な検出方法を,抵抗ボロメータ型デバイス,PNダイオード型デバイス,サーモパイル型デバイス,焦電型デバイス,バイメタル型デバイス,発光型デバイスのそれぞれについて,その原理・製造法などを概説した。

シソーラス用語： *サーマルイメージング ,  *イメージセンサ ,  *MEMS ,  温度分布 ,  センサアレイ ,  光検出器アレイ ,  ボロメータ ,  ダイオード ,  熱電対 ,  焦電体 ,  バイメタル ,  感温素子 ,  可視化 ,  インテリジェント材料 ,  微細加工 ,  発光ダイオード
準シソーラス用語： サーモパイル ,  スマート材料 ,  画像化 ,  焦点面アレイ ,  有機発光素子

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  熱電デバイス  (NC03090J)

タイトルに関連する用語 (4件)： 社会 ,  MEMS ,  赤外線 ,  イメージセンサ