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J-GLOBAL ID：201502213309593912   整理番号：15A0604011

電気トリーの3次元解析のための画像技術の比較と組合せ

Comparison and Combination of Imaging Techniques for Three Dimensional Analysis of Electrical Trees

著者 (5件)： SUHURCH Roger (Univ. Manchester, Manchester, GBR) ,  SCHURCH Roger (Federico Santa Maria Technical Univ., Valparaiso, CHL) ,  ROWLAND Simon M. (Univ. Manchester, Manchester, GBR) ,  BRADLEY Robert S. (Univ. Manchester, Manchester, GBR) ,  WITHERS Philip J. (Univ. Manchester, Manchester, GBR)
資料名： IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation  (IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation)
巻： 22  号： 2  ページ： 709-719  発行年： 2015年04月 
JST資料番号： W0578A  ISSN： 1070-9878  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では電気トリーの3次元画像化のための,X線CT(XCT)とシリアルブロックフェース(SBF)SEM技術を評価して比較した。そして各手法の利点と限界を解析し,関心のある用途に応じた最適技術又はそれらの組合せを提案した。トリーの成長を監視し寸法と構造の最初の知見を得るために,まずは光学的方法を使用した。次に1mm×1mm程度の視野と0.4μm程度の画素寸法を持つマイクロCT技術を,通常又は成長した電気トリーの3次元構造全体を明らかにするために使用した。更にナノCTを用いて,65μmの制限された視野において約65nmの画素寸法で,より詳細な領域を探索した。最後にトリーの微小部分に対して,SBFSEMを用いて50nm以下の解像度で,一層詳細な解析を行うことができた。殆どの場合,これらの技術を適宜併用することで適切な処理が可能であるが,コストと効率の制御が必要である。

シソーラス用語： *トリーイング ,  *画像技術 ,  *解析 ,  X線CT ,  走査電子顕微鏡 ,  画素 ,  分解能 ,  視野
準シソーラス用語： SEM【顕微鏡】 ,  マイクロCT ,  画像化 ,  解像度 ,  *三次元解析 ,  *電気トリー

分類 (4件)： 液体・固体中の放電  (BJ03030E) ,  絶縁材料  (NA04030W) ,  X線技術  (BA02060D) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電気トリー ,  3次元解析 ,  組合せ