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J-GLOBAL ID：201502213348077175   整理番号：15A1044346

化学気相蒸着法によるNbS₂結晶薄膜の作製

著者 (5件)： 渡邉翔 (北大 大学院) ,  WENG Mengting (北大 大学院) ,  柳瀬隆 (北大 FCC) ,  長浜太郎 (北大 大学院) ,  島田敏宏 (北大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 76th  ページ： ROMBUNNO.13P-1A-12  発行年： 2015年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ニオブ化合物 ,  *硫化物 ,  *薄膜成長 ,  *化学蒸着 ,  塩化ニオブ ,  硫黄 ,  *層状化合物 ,  二酸化ケイ素 ,  ケイ素 ,  基板 ,  Ramanスペクトル ,  優先配向 ,  光学顕微鏡法 ,  金属性
準シソーラス用語： *CVD【化学蒸着】

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化学 ,  気相蒸着 ,  結晶 ,  薄膜 ,  作製