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J-GLOBAL ID：201502213737815092   整理番号：15A0831140

AlドープZnOナノシート薄膜上に作製したエタノール・センサーの改良された性能

Improved Performances of Ethanol Sensor Fabricated on Al-Doped ZnO Nanosheet Thin Films

著者 (7件)： YULIARTO Brian (Inst. Teknologi Bandung, Bandung, IDN) ,  NULHAKIM Lukman (Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN) ,  RAMADHANI Muhammad Fazri (Inst. Teknologi Bandung, Bandung, IDN) ,  IQBAL Muhammad (Inst. Teknologi Bandung, Bandung, IDN) ,  NUGRAHA (Inst. Teknologi Bandung, Bandung, IDN) ,  SUYATMAN (Inst. Teknologi Bandung, Bandung, IDN) ,  NURUDDIN Ahmad (Inst. Teknologi Bandung, Bandung, IDN)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 7  ページ： 4114-4120  発行年： 2015年07月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnOナノシート構造薄膜へのAl添加が,エタノール蒸気検知感度に与える影響を調べた。純粋ZnOとAlドープZnOナノシートは,化学浴析出(CBD)法を使って合成した。得られた薄膜標本の特性を,X線回折(XRD)法と走査型電子顕微鏡-エネルギー分散分光(SEM-EDS)法を使って調べた。ZnOとAlドープZnOナノシートの構造を確認し,エタノール蒸気センサーとしての性能を200°Cから300°Cで調べた。最適感度は2.9at% Al-ZnOで得られ,最高感度は,低濃度エタノールに対しては95.29%で,高濃度エタノールに対しては96.68%であった。AlドープZnOナノシートの改良された検知性能を,Zn2+のAl格子への取り込みで形成される酸素空孔に関連付けて論じた。

シソーラス用語： *化学センサ ,  脂肪族アルコール ,  アルミニウム ,  ドーピング ,  *酸化亜鉛 ,  *ナノ構造 ,  半導体薄膜 ,  *透明導電膜 ,  *高感度 ,  析出 ,  *薄膜成長 ,  *結晶構造 ,  *化学組成 ,  結晶形態 ,  X線回折 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  多結晶 ,  微細構造 ,  感度解析
準シソーラス用語： エタノールセンサー ,  化学浴堆積

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： AlドープZnO ,  ナノシート ,  薄膜 ,  作製 ,  エタノール ,  センサー