応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
窒素 について
炭素材 について
不純物拡散 について
マグネトロンスパッタリング について
スパッタ蒸着 について
X線光電子分光法 について
反射率 について
密度 について
炭素化合物 について
窒化物 について
RFマグネトロンスパッタリング について
X線反射率 について
窒化炭素 について
反応性マグネトロンスパッタリング について
非晶質炭素 について
その他の無機化合物の薄膜 について
N2 について
ガス雰囲気 について
アモルファス について
窒化 について
炭素薄膜 について
分子 について
拡散 について