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J-GLOBAL ID：201502214809886204   整理番号：15A1009628

Cu/Fe NPs薄膜の三次元計測パラメータ

Stereometric Parameters of the Cu/Fe NPs Thin Films

著者 (9件)： STACH Sebastian (Univ. Silesia, Sosnowiec, POL) ,  GARCZYK Zaneta (Univ. Silesia, Sosnowiec, POL) ,  TALU Stefan (Technical Univ. Cluj-Napoca, Cluj, ROM) ,  SOLAYMANI Shahram (Islamic Azad Univ., Kermanshah, IRN) ,  GHADERI Atefeh (Razi Univ., Kermanshah, IRN) ,  MORADIAN Rostam (Razi Univ., Kermanshah, IRN) ,  NEZAFAT Negin Beryani (Islamic Azad Univ., Kermanshah, IRN) ,  ELAHI Seyed Mohammad (Islamic Azad Univ., Tehran, IRN) ,  GHOLAMALI Hedieh (Islamic Azad Univ., Tehran, IRN)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 119  号： 31  ページ： 17887-17898  発行年： 2015年08月06日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 4種のCuナノ粒子上のFe薄膜の三次元表面モルホロジーを解析した。薄膜は直流マグネトロンスパッタリング法によりガラス基板上に製作された。銅被覆の厚みは55nm,鉄被膜の厚みは0,40,50,70nmである。原子間力顕微鏡により試料表面の画像を得た。表面試料の3-Dデータを流域セグメンテーションアルゴリズムに基づくソフトウエアMountainsMap Premiumを用いてピークとピットのモチ-フに分割した。ISO 25178-2:2012に合致したセグメントモチーフに関係したパラメータを発生させた。このパラメータにより表面の大きさ,体積,曲率,形状などによるモチーフの解析,本質的特徴の検知,およびキャラクタリゼーションができる。MountainsMap Premiumは表面画像の3-D分割を行い,ピーク,ピット,あるいは不規則な形状のようなモチーフを同定できる。

シソーラス用語： *ナノ粒子 ,  薄膜 ,  *三次元測定 ,  モルフォロジー ,  *表面構造 ,  マグネトロンスパッタリング ,  原子間力顕微鏡 ,  *画像分析 ,  分割
準シソーラス用語： セグメント分割 ,  直流マグネトロンスパッタリング ,  *鉄薄膜 ,  *銅ナノ粒子 ,  表面モルフォロジー ,  流域アルゴリズム

分類 (2件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  物理化学一般その他  (CB01030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： Cu ,  Fe ,  薄膜 ,  三次元計測 ,  パラメータ