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J-GLOBAL ID：201502215767206662   整理番号：15A1202648

応力緩和緩衝材を使用したスパッタ成長したれガーネット・フェライト膜の磁気光学及び結晶学的特性

Magnetooptical and crystalline properties of sputtered garnet ferrite film using a stress relaxation buffer layer

著者 (5件)： FURUYA Akinori (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  SASAKI Ai-ichiro (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  MORIMURA Hiroki (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  KAGAMI Osamu (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  TANABE Takaya (Ibaraki Coll., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 54  号： 9S  ページ： 09MF02.1-09MF02.9  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究の目的は,ガラス基板上にスパッタによって蒸着されたガーネット・フェライト膜の光学特性を改良することである。ガーネットのフェライト膜の磁気光学特性は結晶化の際の基板にっ加えられた熱応力によって強く影響される。初期のフィルム成長の間のガーネットフィルムと基板との界面状態は全体の膜の磁気光学特性に影響する。特に,応力緩和緩衝材を有する蒸着されたガーネットフィルムの結晶性に対する界面で発生したストレスの影響を,膜の断面及び膜表面を観察することにより明らかにした。さらに,ガラス基板上のガーネットフィルムにおけるクラックの影響を低背的に求めた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *応力緩和 ,  *緩衝材 ,  *スパッタ蒸着 ,  ざくろ石 ,  *フェライト ,  磁気光学効果
準シソーラス用語： ガーネット

分類 (2件)： 酸化物結晶の磁性  (BM06050E) ,  一般及び無機化合物の磁気光学・電気光学スペクトル(分子)  (BH06081N)

引用文献 (33件)：

• N. Tsuzuki, M. Yamamoto, and F. Hyuga, J. Appl. Phys. 50, 2219 (1979).
• A. Akselrad, R. E. Novak, and D. L. Patterson, AIP Conf. Proc. 18, 949 (1974).
• B. G. Scott and D. E. Lacklison, IEEE Trans. Magn. 12, 292 (1976).
• H. Kato, T. Matsushita, A. Takayama, M. Egawa, K. Nishimura, and M. Inoue, IEEE Trans. Magn. 38, 3246 (2002).
• B. J. H. Stadler and T. Mizumoto, IEEE Photonics J. 6, 0600215 (2014).

タイトルに関連する用語 (8件)： 応力緩和 ,  緩衝材 ,  スパッタ ,  成長 ,  ガーネット ,  フェライト ,  磁気光学 ,  結晶学