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J-GLOBAL ID:201502215909229915   整理番号:15A0466264

FFUのリアルタイム制御によるクリーンルームの省エネ 目標濃度に合わせた清浄度制御

著者 (1件):
資料名:
巻: 25  号:ページ: 35-39  発行年: 2015年04月10日 
JST資料番号: L1138A  ISSN: 0917-1819  CODEN: KTEKER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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クリーンルームにおいてファンフィルタユニット(FFU)の強度を発塵濃度に応じて自動制御し省エネルギーを図った。クリーンルーム内にパーティクルセンサを設置し,毎分粒子濃度を測定してF(ファクトリー)EMSに送信する。FEMSではPID制御によって目標濃度維持のための必要FFUインバータ周波数を算出し,自動制御装置によって周波数値をFFUに伝送する。FFUの最適運転によって消費電力が削減された。
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分類 (1件):
分類
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空気浄化 
タイトルに関連する用語 (5件):
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