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J-GLOBAL ID：201502215921422527   整理番号：15A1234812

プリズム結合技術を利用した多層誘電体構造の光学特性の研究

Investigation of optical properties of multilayer dielectric structures using prism-coupling technique

著者 (6件)： SOKOLOV V. I. (Inst. Laser and Information Technol., Russian Acad. Sci., Moscow region, RUS) ,  GLEBOV V. N. (Inst. Laser and Information Technol., Russian Acad. Sci., Moscow region, RUS) ,  MALYUTIN A. M. (Inst. Laser and Information Technol., Russian Acad. Sci., Moscow region, RUS) ,  MOLCHANOVA S. I. (Inst. Laser and Information Technol., Russian Acad. Sci., Moscow region, RUS) ,  KHAYDUKOV E. V. (Inst. Laser and Information Technol., Russian Acad. Sci., Moscow region, RUS) ,  PANCHENKO V. Ya. (Inst. Laser and Information Technol., Russian Acad. Sci., Moscow region, RUS)
資料名： Quantum Electronics  (Quantum Electronics)
巻： 45  号： 9  ページ： 868-872  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： D0044C  ISSN： 1063-7818  CODEN： QUELEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘電体の多層構造は,光学系などに広く利用されている。多層構造の光学特性は,各誘電体薄膜層の特性で決まる。多層構造での各層の膜厚と屈折率を測定するために,光学的測定法について検討した。プリズム結合器を利用して,導波モードの共鳴励起に基づく方法を提案した。プリズム結合器を介して各層に光を入射して,入射光で導波モードを共鳴励起する方法であった。この方法を検証するために,ZnSとMgBaF₄の交互多層膜を利用した。膜厚は入射波長よりも小さくした。数学モデルを構築し,多層構造からのTEモードとTMモードの反射係数を計算し,光学定数と膜厚を導出した。この結果を実験結果と比較し,これらが良好に一致することが分かった。プリズム結合技術より多層構造の光学特性を計測できる。

シソーラス用語： *光学的性質 ,  *誘電体 ,  *多層構造 ,  プリズム ,  モード結合 ,  フッ化バリウム ,  光学定数 ,  励起 ,  硫化亜鉛 ,  数学モデル ,  誘電体薄膜 ,  屈折率 ,  膜厚 ,  光学的測定 ,  光結合器 ,  導波モード ,  マグネシウム化合物 ,  バリウム化合物 ,  フッ化物 ,  TEモード ,  TMモード ,  反射率
準シソーラス用語： 共鳴励起

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (5件)： プリズム ,  多層 ,  誘電体 ,  光学特性 ,  研究