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J-GLOBAL ID：201502215932499076   整理番号：15A0829987

新しいRF MEMS正方形共振器の設計

Design of a novel RF MEMS square resonator

著者 (4件)： WANG Q. P. (Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, School of Electronic and Engineering, 611731, Chengdu, CHN) ,  BAO J. F. (Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, School of Electronic and Engineering, 611731, Chengdu, CHN) ,  LING Y. (Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, School of Electronic and Engineering, 611731, Chengdu, CHN) ,  LI X. Y. (Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, School of Electronic and Engineering, 611731, Chengdu, CHN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 21  号： 8  ページ： 1805-1810  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 静電力によって駆動される可動電極構造を持つ新しい種類のRF MEMS正方形共振器を提案する。可能な製造プロセスの範囲内で,可動電極と共振正方形間のギャップを2.5から0.5μmに減少させる。このことは,動抵抗を大幅に減少させ,共振器がより容易に共振できるようにする。それから,電極を設定変位だけ移動させるDC駆動電圧を理論的に推定する。有限要素シミュレーション及び解析ソフトウェアANSYSを用いて,機械振動モーダルを検証し,共振器の中心周波数を決定する。付け加えると,高調波解析のシミュレーションを適用し,電極移動前後の出力電流と動抵抗の変化を得る。その上に,設計は,ある程度まで,微細プロセス技術における小さなギャップを製造する困難さを緩和できる。Copyright 2014 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *共振器 ,  *MEMS ,  *設計 ,  正方形 ,  HF【周波数】 ,  振動モード ,  周波数依存性 ,  変位 ,  静電気 ,  電極 ,  有限要素法 ,  計算機シミュレーション

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： RF ,  MEMS ,  正方形 ,  共振器 ,  設計