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J-GLOBAL ID：201502215958250475   整理番号：15A0882876

肺癌診断用のフレキシブルMEMSに基づく電気的-機械的センサアレイの設計と製作

Design and fabrication of a flexible MEMS-based electro-mechanical sensor array for breast cancer diagnosis

著者 (3件)： PANDYA Hardik J (Univ. Maryland, MD, USA) ,  PARK Kihan (Univ. Maryland, MD, USA) ,  DESAI Jaydev P (Univ. Maryland, MD, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 25  号： 7  ページ： 075025,1-13  発行年： 2015年07月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,MEMS技術を使った外科診断ツールの開発が進んでいる。本稿では,微小な生体細胞の電気的性質と機械的性質を同時測定するMEMSセンサアレイについて報告した。PDMS上のPEDOT:PSS導電性高分子を基板材料として8個の歪ゲージを製作した。また,Auパッド上のAuコートしたSU-8ピラーを1μm厚のSiO₂で分離した歪ゲージ上に製作し,8個の電気的計測センサとした。これらを同じ基板上に集積した。センサアレイは180μm×180μmの面積をカバーし,デバイス全体のサイズは直径20mmである。このデバイスを使って肺癌細胞試料の電気的-機械的検査ができることを確認した。

シソーラス用語： ポリエチレンジオキシチオフェン ,  ポリスチレンスルホン酸 ,  ポリマブレンド ,  ポリジメチルシロキサン ,  外科診断 ,  *肺腫瘍 ,  細胞 ,  フォトレジスト ,  *センサアレイ ,  電気的性質 ,  機械的性質 ,  同時計測 ,  センサ ,  *MEMS
準シソーラス用語： MEMSセンサ ,  PDMS【重合体】 ,  PEDOT:PSS ,  SU-8 ,  生体細胞 ,  同時測定 ,  肺癌

分類 (2件)： 生体計測  (EL03020C) ,  腫ようの診断  (GE03020J)

タイトルに関連する用語 (6件)： 肺癌 ,  診断 ,  MEMS ,  センサアレイ ,  設計 ,  製作