文献

J-GLOBAL ID：201502216036240930   整理番号：15A0990359

超精密加工表面測定における低雑音二波長ディジタルホログラフィーと応用【Powered by NICT】

Low Noisy Dual Wavelength Digital Holography and Application in the Ultra-precision Machining Surface Measurement

著者 (3件)： Pan Weiqing (Dep. of Physics, Zhejiang Sci. and Technol. Univ., Hangzhou) ,  Gong Guofang (Dep. of Mechanical Engineering, Zhejiang Univ., Hangzhou) ,  Fan Yufeng (Inst. of Micro-optics Manufacturing Technol., Zhejiang Sci. and Technol. Univ., Hangzhou)
資料名： Guangdian Gongcheng  (Guangdian Gongcheng)
巻： 42  号： 1  ページ： 25-31  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2092A  ISSN： 1003-501X  CODEN： GUGOEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 異なる波長のための二種のディジタルホログラフィックラップ化位相の減算により,位相ラッピングを除去するための等価波長に対応するビート位相画像が得られた。記録波長ビート位相画像を比較することによって,単一波長位相ジャンプの位置と複数のを確認した。,単一波長相のラップ位相は包まれると位相雑音が一定に保たれている。シミュレーションと実験結果は,位相雑音により誘起された測定誤差は2Λ/λ_mに還元されることを実証した。光微細構造要素表面は650nmと632.8nmの二波長を提案したディジタルホログラフィーで測定した。測定した光学素子は高速工具サーボ(FTS)で生産された。微細構造要素の表面に及ぼす機械加工マークのアンラップ位相画像が明確に得られた。等価波長は0.024mmである。,それぞれ高周波と低周波領域における微細構造プロファイルの三次元データは周波数フィルタリングによって得られた。異なる周波数領域に対応する粗さはそれぞれ33.2nm,19.3nmおよび23.4nmであった。異なる加工マークに影響を及ぼす因子を解析した。FTSの切削パラメータも推定した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 測定誤差 ,  位相 ,  フィルタリング ,  *波長 ,  ラッピング ,  微細構造 ,  サトウダイコン ,  機械工作 ,  位相雑音 ,  周波数 ,  光学素子 ,  超精密加工
準シソーラス用語： 位相画像 ,  *ディジタルホログラフィー ,  低雑音 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 精密加工 ,  低雑音 ,  波長 ,  ディジタルホログラフィー ,  応用