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J-GLOBAL ID：201502216171892581   整理番号：15A1234376

未公開CMOS-MEMS共鳴体トランジスタのためフォノニック結晶の理論及び設計

Theory and Design of Phononic Crystals for Unreleased CMOS-MEMS Resonant Body Transistors

著者 (3件)： BAHR Bichoy (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  MARATHE Radhika (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  WEINSTEIN Dana (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 5  ページ： 1520-1533  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 市販CMOS技術のBEOL層におけるフォノニック結晶(PnC)の実施及び設計を研究した。リソグラフィー的に明確なPhC寸法は,バンドギャップエンジニアリングを可能にし,共振器設計にフレキシビリティを与え,チップ上での多重周波数を可能にした。PnCの理論解析を述べた。異なるCMOS技術におけるPnC設計も述べ,比較した。製造変動及び空洞非一様性は,共振器品質因子を劣化させ,スプリアスモードを発生させた。大きなバンドギャップPnCを,大きな音響インピーダンスをもつBEOL材料を与えるCMOS技術で達成できた。

シソーラス用語： *フォトニック結晶 ,  *CMOS構造 ,  *MEMS ,  *Q値 ,  周波数 ,  電気回路 ,  半導体プロセス ,  *トランジスタ ,  バンドギャップ ,  半導体チップ ,  変動 ,  *音響共振器 ,  SOI構造 ,  分散関係 ,  有限要素法 ,  歪エネルギー ,  エネルギー分布 ,  音波導波路 ,  プログラムパッケージ ,  シミュレーション ,  スプリアス発射 ,  フォノン ,  *結晶
準シソーラス用語： BEOL ,  COMSOL ,  FEOL ,  MEMS共振器 ,  RBT ,  RF MEMS ,  RFフロントエンド ,  ギガヘルツ ,  *フォノニック結晶 ,  プロセス変動

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (8件)： 公開 ,  CMOS ,  MEMS ,  共鳴 ,  トランジスタ ,  フォノニック結晶 ,  理論 ,  設計