開放空間中の変調フェムト秒レーザパルスによる高伝導性金属ナノワイヤの無マスクパターニング

WANG Andong; JIANG Lan; LI Xiaowei; LIU Yang; DONG Xianzi; QU Liangti; DUAN Xuanming; LU Yongfeng

文献

J-GLOBAL ID：201502216185214470 整理番号：15A1219097

開放空間中の変調フェムト秒レーザパルスによる高伝導性金属ナノワイヤの無マスクパターニング

Mask-Free Patterning of High-Conductivity Metal Nanowires in Open Air by Spatially Modulated Femtosecond Laser Pulses

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巻： 27 号： 40 ページ： 6238-6243 発行年： 2015年10月
JST資料番号： W0001A ISSN： 0935-9648 CODEN： ADVMEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

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空間変調フェムト秒レーザパルスを用いる薄膜パターニングによる新しい高分解能ナノワイヤ作製法を開発した。開放空間中,無マスクで波長よりもずっと短い(レーザ波長の約1/13)高伝導性(バルク金の約1/4)のナノワイヤを製造でき,電子,プラズモン,およびオプトエレクトロニクスナノ素子のための一段階で任意の直接パターン形成法を提供した。Copyright 2015 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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