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J-GLOBAL ID：201502216961310957   整理番号：15A0804424

O₂で酸化しH₂Oで処理したナノ結晶シリコンnc-Si,nc-Si/SiO_xナノ複合体,及びnc-Siからの光ルミネセンス

Photoluminescence from nanocrystalline silicon nc-Si, nc-Si/SiO₂ nanocomposites, and nc-Si oxidized in O₂ and treated in H₂O

著者 (2件)： VEPREK Stan (Dep. of Chemistry, Technical Univ. Munich, Lichtenbergstr. 4, D-85747 Garching, DEU) ,  VEPREK-HEIJMAN Maritza G. J. (Dep. of Chemistry, Technical Univ. Munich, Lichtenbergstr. 4, D-85747 Garching, DEU)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 33  号： 4  ページ： 043001-043001-4  発行年： 2015年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ結晶シリコン(nc-Si)/SiO_xナノ複合体,及びシラノール≡Si-O-Hからの光ルミネセンス(PL)が,今までのものとは異なるスペクトル分布及び,さらには特性をもつことを示した。nc-Si/SiO_xナノ複合体からのPLは,約1.5~1.6eV(約800nm)において最大強度をもち,シラノールからのPLは,2.8~3eVの周りに最大をもつ広がった特徴として現れた。アラノール≡Al-O-HからのPLは,同様の挙動を示した。SiO_xマトリクスに埋め込まれたnc-Siの光電気特性の簡単な要約も行った。

シソーラス用語： *ナノ結晶 ,  *二酸化ケイ素 ,  *埋込み【挿入】 ,  *ナノ複合材料 ,  *シラノール ,  *化合物 ,  *光ルミネセンス ,  発光スペクトル ,  放射強度
準シソーラス用語： *ナノ結晶シリコン ,  *ナノ複合体 ,  *アラノール ,  発光強度

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (8件)： O2 ,  酸化 ,  H2O ,  ナノ結晶シリコン ,  NC ,  Si ,  ナノ複合体 ,  光ルミネセンス