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J-GLOBAL ID：201502217149070493   整理番号：15A1033109

機能性ミクロ-ナノ構造及びデバイスの製造のための電気化学的プロセス

Electrochemical Processes for the Fabrication of Functional Micro-nano Structures and Devices: Mechanistic Understanding and Process Development

著者 (1件)： HOMMA Takayuki (Dep. of Applied Chemistry, Waseda Univ.)
資料名： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
巻： 83  号： 9  ページ： 680-687 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機能性ミクロ-ナノ構造及びデバイスの製造のための電気化学的方法を,更なる更なる制御性を示すことを目的に主に筆者のグループによって為された以前の研究で得られた結果を基に包括的に述べた。まず,理論的な研究を,分子レベルの反応機構を解析するための方法を示すために主に無電解めっきに焦点を合わせて,このプロセスを調べるために行った。これらの方法は全プロセスを解明するための強力なツールでありプロセスの正確な設計の達成に寄与できる。次に,金属ナノパターンのマスクレス及び無電解作製,超薄層をつくるための側方が高い電着,並びにスルーマスク電気化学的析出による様々なデバイスのためのナノ構造のような機能性構造のミクロ-ナノ製造の正確な制御を達成するためのいくつかの実験的方法を導入して,様々な応用面でのナノスケール製造のプロセスの高い可能性を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *電着 ,  無電解めっき ,  *微細構造 ,  *ナノ構造 ,  固体素子 ,  処理 ,  機能材料 ,  反応機構 ,  型 ,  超薄膜 ,  規模 ,  計算 ,  *電気化学反応 ,  素子構造 ,  過程
準シソーラス用語： ナノデバイス ,  ナノパターン ,  マイクロデバイス ,  ミクロ構造 ,  電気化学的プロセス ,  ナノスケール ,  ab initio計算 ,  デバイス構造 ,  デバイスプロセス

分類 (2件)： 電気化学反応  (CB07050F) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 機能性 ,  ナノ構造 ,  電気化学的プロセス