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J-GLOBAL ID：201502217190001864   整理番号：15A1065285

NIRのための進歩したMEMSスペクトルセンサ

Advanced MEMS Spectral Sensor for the NIR

著者 (5件)： ANTILA Jarkko (Spectral Engines Oy, Helsinki, FIN) ,  KANTOJAERVI Uula (Spectral Engines Oy, Helsinki, FIN) ,  MAEKYNEN Jussi (Spectral Engines Oy, Helsinki, FIN) ,  TAMMI Matti (Spectral Engines Oy, Helsinki, FIN) ,  SUHONEN Janne (Spectral Engines Oy, Helsinki, FIN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9375  ページ： 93750F.1-93750F.14  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分光法で使用される900~2500nmの近赤外(NIR)領域は,スペクトルの中で平坦で,3次分子振動に支配されて,重ね合わさっている形で表れるスペクトルの部分である。ここでは波長軸に対して,正確な解析のためにはケモメトリックスに関する解析方法が必要である。本研究では,MEMS Fabry-Perot干渉計(FPI)ベースのスペクトルセンサとその性能と応用について発表する。このセンサは,ファイバー結合し,125gの重さで,25×55×55mm³の枠に合うように作成してある。単一ピクセル拡張型InGaAs検出器のみを使用して,3つのタイプのセンサが,波長領域の1.35~1.7μm,1.55~2.0μmおよび1.7~2.2μmを網羅している。このセンサを使用した測定結果と応用について説明する。

シソーラス用語： *近赤外スペクトル ,  *MEMS ,  *スペクトロスコピー ,  分子振動 ,  スペクトル ,  ケモメトリックス ,  Fabry-Perot干渉計 ,  *センサ ,  光ファイバ ,  *ヒ化ガリウムインジウム ,  検出器 ,  周波数領域 ,  迷光

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  スペクトル