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J-GLOBAL ID：201502217407494554   整理番号：15A0973461

高品質非鉛圧電体薄膜を用いたロボット用MEMS触覚センサの開発

著者 (1件)： 寒川雅之 (新潟大)
資料名： NSK-FAM研究助成・教育助成成果報告書  (NSKメカトロニクス技術高度化財団研究助成・教育助成成果報告書)
号： 25  ページ： 9  発行年： 2015年08月01日 
JST資料番号： L8248A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高品質 ,  非鉛 ,  圧電体薄膜 ,  ロボット ,  MEMS ,  触覚センサ ,  開発