可能性無限大!3次元ビジョン  サブミクロン精度の高精度計測をインラインで  超高速干渉計測3次元センサ「heliInspectシリーズ」

富田康幸

文献

J-GLOBAL ID：201502217485100082 整理番号：15A1057428

可能性無限大!3次元ビジョンサブミクロン精度の高精度計測をインラインで超高速干渉計測3次元センサ「heliInspectシリーズ」

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 47 号： 10 ページ： 55-58 発行年： 2015年10月01日
JST資料番号： Z0577B ISSN： 1346-1362 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

スイスheliotis社製のサブミクロン精度の測定がインラインで可能な超高速干渉計測3次元センサ「heliSens3」を紹介した。本センサは光干渉断層計測法を採用し,独自專用ASICにより素子内で超高速データ処理を行い,サブミクロン精度と計測時間の劇的な短縮を実現している。また本センサを実装したカメラボード,光源,Z軸ステージなどをモジュール化したheliInspect H6/H4も用意し,光学モジュールを付け替えるだけで簡単に視野や倍率の変更が可能である。透明な液面やガラス,反射率の高い金属も正確に測定可能で,これまで困難であった極小はんだボールの形状,レンズ表面形状などの検査への適用が可能で,時計用軸受け形状計測のインライン検査でその有効性が確認されている。

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干渉測定と干渉計

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可能性無限大!3次元ビジョン サブミクロン精度の高精度計測をインラインで 超高速干渉計測3次元センサ「heliInspectシリーズ」

可能性無限大!3次元ビジョンサブミクロン精度の高精度計測をインラインで超高速干渉計測3次元センサ「heliInspectシリーズ」