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J-GLOBAL ID:201502217491111070   整理番号:15A1119724

前駆体としてBCl_3-CH_4-H_2を用いたCVDによる調製B_xC凝縮相の熱力学【Powered by NICT】

Thermodynamics of Preparing B_xC Condensed Phases by CVD Using BCl_3-CH_4-H_2 as Precursors
著者 (4件):
資料名:
巻: 44  号:ページ: 826-829  発行年: 2015年 
JST資料番号: W0563A  ISSN: 1002-185X  CODEN: XJCGEA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 英語 (EN)
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自己修復相B_xCの生成物は完全な熱力学的平衡分析によりBCl_3(BCl_3+CH_4)とH_2(BCl_3+CH_4)の温度および初期ガスモル比の関数として調べた。結果は凝縮相の組成は温度とBCl_3(BCl_3+CH_4)とH_2(BCl_3+CH_4)のモル比に極めて敏感であることを示した。計算に基づいて,BxC析出に対する理想的な条件は次の通りである:BCl_3(BCl_3+CH_4)の比は0.8で,10から105.2までH_2(BCl_3+CH_4)範囲の比で,温度が950K以上であった。材料中の炭素richmentまたはほう素richmentは主にBCl_3(BCl_3+CH_4)とH_2(BCl_3+CH_4)の比により調整されることを見出した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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医用素材 
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