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J-GLOBAL ID：201502218478402029   整理番号：15A1096319

AFM振動加工によるグラフェンの高精度加工

著者 (3件)： 芦葉直樹 (中央大) ,  出村和哉 (中央大) ,  井原透 (中央大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.I37  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： グラフェンは軽量かつ強靭という特徴から注目されている炭素材料である。しかし,その加工技術に関しては研究段階であり,高精度加工技術が求められている。我々は,AFMによるスクラッチ加工でグラフェンの加工に成功しているが,振動加工を用いることでより高精度な加工を実現できると考えた。本発表では,スクラッチ加工で形成した溝と振動加工で形成した溝の精度の比較・検討結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *グラフェン ,  *精密加工 ,  *原子間力顕微鏡 ,  微細加工 ,  プローブ ,  ダイヤモンド ,  *溝加工 ,  *工作精度 ,  接触
準シソーラス用語： スクラッチ ,  高精度加工 ,  *材料依存性 ,  振動加工 ,  単結晶ダイアモンド

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  原子間相互作用  (BH04020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： AFM ,  振動加工 ,  グラフェン ,  高精度加工