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J-GLOBAL ID：201502218728053998   整理番号：15A0876858

ダイヤモンド/BeO複合材料の熱伝導率の温度依存性に及ぼす膜厚の影響

Effect of film thickness on the temperature dependence of thermal conductivity for diamond/BeO composites

著者 (8件)： LUO Hao (School of Materials Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha 410083, CHN) ,  WEI Qiuping (School of Materials Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha 410083, CHN) ,  WEI Qiuping (State Key Lab. of Powder Metallurgy, Central South Univ., Changsha 410083, CHN) ,  YU Z.M. (School of Materials Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha 410083, CHN) ,  YU Z.M. (State Key Lab. of Powder Metallurgy, Central South Univ., Changsha 410083, CHN) ,  WANG Yijia (School of Materials Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha 410083, CHN) ,  LONG Hangyu (School of Materials Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha 410083, CHN) ,  XIE Youneng (School of Materials Sci. and Engineering, Central South Univ., Changsha 410083, CHN)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 41  号： 9 PB  ページ： 12052-12057  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ホットフィラメント化学蒸着(CVD)により,酸化ベリリウム(BeO)基板表面に厚みが異なる多結晶ダイヤモンド膜を堆積した。各試料の熱伝導率(κ値)を測定した。5.0μm厚みの複合材料において,基板と比べて熱伝導率が17.5%高い値が得られた。厚みが異なる複合材料の熱伝導率の温度依存性を調べた。複合材料の温度依存性の変動には,膜の純度と残留応力が総合的に影響していることが分かった。高温の熱伝導において,応力誘起欠陥が重要な役割を果した。本研究は,膜/基板構造のようなCVDダイヤモンドとの複合材料の作製および熱的応用において,非常に重要である。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 複合材料 ,  *薄膜成長 ,  *ダイヤモンド ,  DLC膜 ,  *酸化ベリリウム ,  *熱伝導率 ,  温度依存性 ,  膜厚 ,  基板 ,  化学蒸着 ,  純度 ,  残留応力 ,  格子欠陥 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： ホットフィラメントCVD ,  厚み依存性 ,  走査電子顕微鏡法

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： ダイヤモンド ,  BeO ,  複合材料 ,  熱伝導率 ,  温度依存性 ,  膜厚