文献

J-GLOBAL ID：201502219213672365   整理番号：15A1096097

2次元格子とフィゾー干渉計の一括自律校正に関する研究-自律校正法の提案-

著者 (7件)： 大野敦子 (東北大) ,  KIM WooJae (東北大) ,  CAI Yindi (東北大) ,  CHEN Yuan-Liu (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B06  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 干渉型3軸サーフェスエンコーダの確度は基準2次元格子の平面度および面内ピッチ偏差に大きく依存する。本報では,2次元格子に傾斜角を与えながらフィゾー干渉計を用いて回折光を繰り返し計測して得られた結果をもとに,2次元格子とフィゾー干渉計を高速かつ高精度に一括自律校正する手法を提案するとともに,基礎実験を行い,その妥当性を評価した結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 格子 ,  干渉計 ,  キャリブレーション ,  自律系 ,  *位置センサ ,  *位置決め ,  平坦性 ,  ピッチ【機械要素】 ,  統計量 ,  傾斜角 ,  光回折 ,  *位置決め装置
準シソーラス用語： Fizeau干渉計 ,  *サーフェスエンコーダ ,  二次元格子 ,  校正【計測】 ,  平面度 ,  偏差

分類 (2件)： 制御機器一般  (IC02010N) ,  機械の組立  (QC05000F)

タイトルに関連する用語 (7件)： 2次元 ,  格子 ,  フィゾー干渉計 ,  自律 ,  校正 ,  研究 ,  提案