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J-GLOBAL ID：201502219763804374   整理番号：15A1151074

パルスレーザ堆積AlドープZnO薄膜の特性に及ぼすビームエネルギーの影響

Influence of Beam Energy on the Properties of Pulsed Laser Deposited Al-Doped ZnO Thin Films

著者 (3件)： KAUR Gurpreet (Indian Inst. Technol. Roorkee, Uttarakhand) ,  MITRA Anirban (Indian Inst. Technol. Roorkee, Uttarakhand) ,  YADAV K. L. (Indian Inst. Technol. Roorkee, Uttarakhand)
資料名： IEEE Transactions on Nanotechnology  (IEEE Transactions on Nanotechnology)
巻： 14  号： 5  ページ： 922-930  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： W1355A  ISSN： 1536-125X  CODEN： ITNECU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlドープZnO薄膜を,400°C,周囲酸素雰囲気において,レーザビームエネルギーを変えて,パルスレーザ堆積によりガラス基板上に堆積した。Al:ZnO膜は,結晶性で,(002)面配向,大きなテキスチャ係数をもっていた。結晶粒モルフォロジーは,高密度で均一,低表面粗さをもっていた。粒子のアスペクト比及び表面被覆は,ビームエネルギーとともに増大することが分かった。元素組成は,ビームエネルギーにより影響を受けた。高エネルギーにおける結晶粒の合体は,粒子の表面対体積比を変えた。量子サイズ効果は,バンドギャップを減少させた。

シソーラス用語： *パルスレーザ蒸着 ,  *アルミニウム ,  *ドーピング ,  *酸化亜鉛 ,  *半導体薄膜 ,  バンドギャップ ,  電気抵抗率 ,  薄膜成長 ,  X線回折 ,  優先配向 ,  六方晶系 ,  ウルツ鉱型結晶 ,  格子歪 ,  表面粗さ ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  アスペクト比 ,  表面被覆 ,  化学組成 ,  スペクトロスコピー ,  光ルミネセンス ,  太陽電池 ,  透明電極 ,  *エネルギー依存性
準シソーラス用語： FE-SEM ,  元素組成 ,  紫外可視分光法

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルスレーザ堆積 ,  AlドープZnO ,  薄膜 ,  ビーム ,  エネルギー