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J-GLOBAL ID:201502219802933160   整理番号:15A1036013

三軸静電容量MEMS加速度計用の新しい零gオフセットキャリブレーション付き読出回路

A Readout Circuit with Novel Zero-g Offset Calibration for Tri-axes Capacitive MEMS Accelerometer
著者 (7件):
資料名:
巻: 2015 Vol.2  ページ: 1062-1065  発行年: 2015年 
JST資料番号: A0757A  ISSN: 0271-4302  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
分類
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時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  ,  その他の電子回路 

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