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J-GLOBAL ID:201502219976765577   整理番号:15A0792374

電着による構造的および機械的に調整可能な酸化モリブデン膜とパターン化したサブマイクロメータ構造

Structurally and mechanically tunable molybdenum oxide films and patterned submicrometer structures by electrodeposition
著者 (8件):
資料名:
巻: 173  ページ: 705-714  発行年: 2015年08月10日 
JST資料番号: B0535B  ISSN: 0013-4686  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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pH=1,6および9の0.2M Na2MoO4電解質を定電位で電着して,膜厚が1.5μmの酸化モリブデン膜を,酸化インジウムスズ(ITO)/ガラス基板上に電着した。膜の密着性,形態,空隙率,モリブデンの種分化,および結晶構造に対する臭化セチルトリメチルアンモニウム(CTAB)界面活性剤の影響を体系的に調査した。浴槽へのCTAB(0.01M)の添加は,明らかに基板への膜の密着性を向上して亀裂を減少し,結晶度を増加させた。これは,膜の物理的性質に影響を与えた。特に,ナノインデンテーション試験の測定により,硬度(H)とYoung率(E)を増加した。電子ビームで石版印刷したAu/Ti/Si基板上への電着による柱および縞を含む酸化モリブデンのサブマイクロメータ構造の規則化配列の成長についても報告した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (4件):
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電気化学反応  ,  電解質水溶液  ,  酸化物薄膜  ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造 
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