文献

J-GLOBAL ID：201502220054009208   整理番号：15A1052468

上部駆動型可変容量マイクロモータの最適化手法の研究

Research on the optimization method of top-drive variable-capacitance micromotors

著者 (3件)： HE Guangping (North China Univ. of Technol., Dep. of Mechanical and Electrical Engineering, 100144, Beijing, People’s Republic of ...) ,  ZHAO Quanliang (North China Univ. of Technol., Dep. of Mechanical and Electrical Engineering, 100144, Beijing, People’s Republic of ...) ,  GENG Zhiyong (Peking Univ., State Key Lab. for Turbulence and Complex Systems, Dep. of Mechanics and Aerospace Engineering, 100871 ...)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 21  号： 11  ページ： 2443-2453  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 重要なMEMS素子の一種である静電マイクロモータは,進歩を続けるマイクロポンプ,マイクロジャイロスコープ,超小型プロペラ,微細な医療器具等のプラットフォームとして使用できる。過去20年間,静電マイクロモータに関する研究は,主として作動原理と製造技術に着目してきた。本論文では,上部駆動型可変容量静電マイクロモータ(TDVCM)の最適設計手法を検討し,TDVCMの出力トルクの計算のための解析モデルを提示する。解析モデルを用いると,TDVCMの設計パラメータを有限要素解析なしで最適化でき,その結果,設計手続きは計算時間においてより効率的となる。本論文が提案した手法の数値計算精度を確認するため,様々な種類の励起方式での8/6TDVCMの最適化手続きを提示し,有限要素解析によって,その最適化結果を確かめた。Copyright 2014 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *最適化手法 ,  *マイクロモータ ,  *駆動 ,  *MEMS ,  *静電気応用 ,  静電気 ,  マイクロポンプ ,  ジャイロスコープ ,  *最適設計 ,  *容量制御 ,  静電容量 ,  トルク ,  解析モデル ,  数値計算 ,  有限要素法 ,  静電誘導
準シソーラス用語： 上部駆動

分類 (1件)： 電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロモータ ,  最適化手法 ,  研究