文献

J-GLOBAL ID：201502220183564544   整理番号：15A0846558

固体酸化物燃料電池用イットリア安定化ジルコニア電解質薄膜のパルスレーザ蒸着に及ぼす速度の効果

Effect of Rate on Pulsed Laser Deposition of Yttria-Stabilized Zirconia Electrolyte Thin Films for SOFCs

著者 (6件)： MUKAI T. (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  FUJITA T. (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  TSUKUI S. (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  YOSHIDA K. (Tokyo Metropolitan Coll. of Industrial Technol., Tokyo, JPN) ,  ADACHI M. (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  GORETTA K. C. (Air Force Office of Scientific Res. Arlington, VA)
資料名： Transactions of the ASME. Journal of Fuel Cell Science and Technology  (Transactions of the ASME. Journal of Fuel Cell Science and Technology)
巻： 12  号： 3  ページ： 031002.1-031002.7  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： W1565A  ISSN： 1550-624X  CODEN： JFCSAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体酸化物燃料電池(SOFC)の電解質としてイットリア安定化ジルコニア(YSZ)は有用な電解質材料であり,その薄膜製造においてパルスレーザ蒸着(PLD)が適用される。本研究においては,このプロセスにおいて,レーザ蒸着速度が膜質にどのような影響を与えるかを調べた。Y₂O₃とZrO₂の粉末を10mol%Y₂O₃-ZrO₂になるよう混合し,その後の圧粉・焼結によりターゲットを製造した。このターゲットを用いPLDによって(001)Si基板上にYSZを成膜した。この際,レーザ照射繰返し周波数を変化させた(10~50Hz)。得た膜の結晶構造解析,523Kでのインピーダンス測定および電気伝導率の温度依存性評価を実施した。これらの実験から,予想に反して,PLD周波数の違いによる膜質の違いは生じないことを明らかにした。

シソーラス用語： 固体酸化物燃料電池 ,  電解質 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  *セラミック膜 ,  周波数 ,  結晶度 ,  電気伝導率 ,  *セラミック ,  *酸化イットリウム ,  *酸化ジルコニウム
準シソーラス用語： *イットリア安定化ジルコニア

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 固体酸化物燃料電池 ,  イットリア安定化ジルコニア ,  電解質 ,  薄膜 ,  パルスレーザ蒸着